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特性介绍
♦ 採用了划时代性模组结构的超薄型平台
在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，实现了超薄型结构。
♦ 高刚性、高精度
对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。
♦ 超薄型、轻量化、中空结构
採用XYθ模组化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。
♦ 润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。
♦ 尺寸齐全 适用各种机型运用
工作台面尺寸口100mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模组之数量来达成。
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型号 |
工作台面尺寸 (mm) |
基座尺寸 (mm) |
行程 (mm) |
水平负载能力 (kgf) |
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WNAS02-400CC |
400x400 |
500x500 |
±10x±10 |
105 |
|
WNAS02-400RS |
400x400 |
500x500 |
±10x±10 |
130 |
|
WNAS02-500CC |
500x500 |
600x600 |
±10x±10 |
105 |
|
WNAS02-500RS |
500x500 |
600x600 |
±10x±10 |
130 |
|
WNAS02-750CC |
750x750 |
850x850 |
±10x±10 |
105 |
|
WNAS02-750RS |
750x750 |
850x850 |
±10x±10 |
130 |
产业应用介绍
♦ 面板贴合机
♦ 面板贴膜机
♦ 网版及3D网版印刷
♦ 玻璃侧角及磨边设备
♦ Wafe对位设备
♦ P.C.D曝光设备
♦ 软体裁切设备
♦ 半导体设备
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