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Z轴升降机构
Z轴升降机构
  情 介 绍
XXY精密对位平台 – Z轴升降式 
台面尺寸 : 350x350、600x600 (mm) 
基座尺寸 : 350x410、620x660 (mm) 
★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构 
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现 
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用 
★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度 
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能 
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量



型号

工作台面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

水平负载能力 (kgf)

WNAZS350

350x350

350x410

±15

Fv 200 ; Fs 200

WNAZS600

600x600

620x660

5

Fv 200 ; Fs 400

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