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相位台:WN700UVW6X6X4
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  情 介 绍


1. 采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
2. 高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3. 超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4 .润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
5. 产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6. 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1. 面板贴膜
2. 3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4. Wafe对位设备
5.  P.C.D曝光设备
6. 软体裁切设备
7. 半导体设备



产品型号

WN700UVW6X6X4

工作台面尺寸(mm)

170x170

基座尺寸(mm)

180x180

行程(mm)

±6x±6

中心角度(θ)

±4°

滚珠螺杆导程(mm)

1

高度(mm)

50

中孔(mm)

60

水平负债能力(Kgf)

15

主体材料

铝合金

工作台表面处理

黑色表面处理

往复定位精度(μm)

2

电机类型

2相步进

电机输出轴形式

28单输出轴

本体重量(Kg)

5

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